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原子力顯微鏡的分辨力受什么因素限制?

點(diǎn)擊次數(shù):5041 更新時(shí)間:2020-11-18
  與傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡相比,原子力顯微鏡的分辨本領(lǐng)主要受什么因素限制?
 
  傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡的分辨本領(lǐng)受到光衍射極限的限制,其小分辨距離為其光波長(zhǎng)的一半。電子顯微鏡的分辨本領(lǐng)同樣受到衍射極限的限制,其小分辨本領(lǐng)為電子德布羅意波長(zhǎng)的一半,因此電子顯微鏡可以達(dá)到比傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡更高的分辨本領(lǐng)。
 
  原子力顯微鏡的分辨本領(lǐng)主要取決于:探針針尖的尺寸;微懸臂的彈性系數(shù),彈性系數(shù)越低,原子力顯微鏡越靈敏;懸臂的長(zhǎng)度和激光光線(xiàn)的長(zhǎng)度之比;探測(cè)器PSD對(duì)光斑位置的靈敏度。對(duì)于分辨率一定的圖像,掃描范圍越小,獲得的表面形貌越精細(xì)。
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