樣品自動(dòng)移動(dòng)到成像模塊（光學(xué)輪廓儀或原子力顯微鏡），可以創(chuàng)建一個(gè)完整的劃痕的三維圖像。光學(xué)輪廓儀為白光干涉和激光共聚焦顯微鏡相結(jié)合。這種組合可以測(cè)量鋼刮坡，透明涂料（玻璃等），可測(cè)量表面粗糙度，劃痕體積、涂層失效等。用于亞納米分辨率 。

v> 功能全面：擁有超高的精度，可用 于測(cè)量薄膜、涂層或基體材料的機(jī) 械性能?？蓽y(cè)量幾乎所有類型材料 的硬度、彈性模量、蠕變、疲勞等 特性。采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)和電容式 傳感技術(shù)，SMT可從納米到微米范 圍內(nèi)定量測(cè)量表面性能。

v> 主要特點(diǎn)： 可更換模塊 具有電容傳感器技術(shù) 玻氏壓頭、維氏壓頭、球形壓頭、 立方體晶棱壓頭、努氏壓頭等 處理大型和重型負(fù)載樣品（50 厘 米；10公斤） 自動(dòng)檢測(cè)三維形貌 小型納米壓痕儀 主動(dòng)式隔震平臺(tái) 納米壓痕單一應(yīng)用

v> 符合國(guó)際測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)： ASTM E2546, ASTM B933, ASTM D785, ASTM E140 ISO 14577, ISO 6508, ISO 6507, ISO 4516 DIN 50359, DIN 55676 JIS B7734等

適用領(lǐng)域：航空航天、汽車、半導(dǎo) 體、生物醫(yī)學(xué)、光學(xué)材料、硬質(zhì)涂 層等